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J-GLOBAL ID：201202234994474004   整理番号：12A1637154

疎空気性 浸漬表面加工シリコン基板からの気泡の反発

Superaerophobicity: Repellence of Air Bubbles from Submerged, Surface-Engineered Silicon Substrates

著者 (2件)： DORRER Christian (Univ. Freiburg, Freiburg, DEU) ,  RUEHE Juergen (Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
資料名： Langmuir  (Langmuir)
巻： 28  号： 42  ページ： 14968-14973  発行年： 2012年10月23日 
JST資料番号： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 疎空気性(superaerophobicity)という用語を,浸漬した粗い表面から気泡が強く反発される湿潤状態のために提案した。基板を水中に浸漬し,下から気泡を入れた。浸漬面上を自由に動き回る気泡により,気泡反発挙動が明らかになった。この認められた影響を気泡と基板の間の複合湿潤接触の生成により説明した。超疎空気性湿潤状態の熱力学を解析し,平衡接触角の方程式を与えた。

シソーラス用語： 浸漬 ,  表面加工 ,  *ウエハ【IC】 ,  *気泡 ,  *斥力 ,  *接触角 ,  湿潤 ,  熱力学 ,  方程式 ,  表面粗さ ,  PFA樹脂 ,  ポリアクリルアミド ,  被覆 ,  表面被覆
準シソーラス用語： *シリコン基板 ,  *反発力 ,  ポリジメチルアクリルアミド

分類 (2件)： 界面化学一般  (CB12010J) ,  膜流,液滴,気泡,キャビテーション  (BC02070U)

タイトルに関連する用語 (5件)： 浸漬 ,  表面加工 ,  シリコン基板 ,  気泡 ,  反発