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J-GLOBAL ID：201202235117760345   整理番号：12A1253245

ZnOナノ材料型弾性表面波エタノールガスセンサ

ZnO Nanomaterials Based Surface Acoustic Wave Ethanol Gas Sensor

著者 (7件)： WU Y. (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  LI X. (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  LIU J.H. (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  HE Y.N. (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  YU L.M. (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  YU L.M. (Xi’an Univ. Technol., Xi’an, CHN) ,  LIU W.H. (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 12  号： 8  ページ： 6505-6509  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高い比表面積を持つZnOナノ材料を用いた弾性表面波(SAW)ガスセンサを製作し,エタノールガス検知に応用した。ZnOナノ材料は高純度亜鉛粉末の熱蒸発により合成された。電子顕微鏡とX線回折による構造評価から,生成試料はナノベルト,ナノロッド,ナノ細線,ナノシートなど多様な型のナノ構造を持つことが分かった。このナノ構造化ZnO材料をSAWデバイスの表面に堆積してガスセンサを製作した。これをガスに曝したときのSAWセンサの挿入損失の変化を利用してガス検知が可能になる。その挿入損失は広範囲のエタノールガス濃度変化(200~1600pps)に対して線形的変化を示し,0.01dB/100ppmの感度が得られた。こうしてZnOナノ材料型SAWセンサはエタノールガス検知に対して室温で高い感度と良好な短時間再現性を持つことが確認された。

シソーラス用語： *弾性表面波素子 ,  *酸化亜鉛 ,  *ナノ構造 ,  *ガスセンサ ,  表面積 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  脂肪族アルコール

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (3件)： ZnO ,  ナノ材料 ,  弾性表面波