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J-GLOBAL ID：201202235483604011   整理番号：12A0783370

高い耐化学性をもつ超低κ環状炭素橋架けPMO膜

Ultra-low-k cyclic carbon-bridged PMO films with a high chemical resistance

著者 (8件)： GOETHALS Frederik (Ghent Univ., Ghent, BEL) ,  CIOFI Ivan (IMEC, Leuven, BEL) ,  MADIA Oreste (IMEC, Leuven, BEL) ,  VANSTREELS Kris (IMEC, Leuven, BEL) ,  BAKLANOV Mikhail R. (IMEC, Leuven, BEL) ,  DETAVERNIER Christophe (Ghent Univ., Ghent, BEL) ,  VAN DER VOORT Pascal (Ghent Univ., Ghent, BEL) ,  VAN DRIESSCHE Isabel (Ghent Univ., Ghent, BEL)
資料名： Journal of Materials Chemistry  (Journal of Materials Chemistry)
巻： 22  号： 17  ページ： 8281-8286  発行年： 2012年05月07日 
JST資料番号： W0204A  ISSN： 0959-9428  CODEN： JMACEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 疎水性環状炭素橋架け周期メソ多孔性有機シリカ(POM)薄膜を,界面活性剤Brij-76,水,塩酸及びエタノールと混合した1,1,3,3,5,5-ヘキサエトキシ-1,3,5-トリシラシクロヘキサンのスピンコーティングによって調製することができた。これは1.8という超低誘電率の有望な誘電性を示した。Brij-76を用いて調製したPMO膜はメソ多孔性シリカ膜及びセチルトリセチルアンモニウムクロリドで調製した周期炭素橋架けPMO薄膜に比べて,アルカリ性溶液に対して非常に高い抵抗性を有する。この疎水性は窒素雰囲気下400°Cでのアニール段階で保持され,膜厚に影響はなかった。

シソーラス用語： *有機-無機ハイブリッド ,  *耐化学性 ,  *誘電率 ,  *疎水性 ,  非イオン界面活性剤 ,  *有機ケイ素化合物 ,  *ケイ素複素環化合物 ,  スピンコーティング ,  誘電性 ,  多孔性 ,  材料 ,  多孔質体 ,  溶液 ,  焼なまし ,  膜厚 ,  ポリエチレンオキシド ,  走査電子顕微鏡 ,  赤外吸収スペクトル ,  高分解能電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  接触角 ,  細孔径 ,  細孔径分布 ,  DRIFT法 ,  吸着等温式 ,  *誘電体薄膜 ,  *二酸化ケイ素
準シソーラス用語： *シリカ ,  FTIRスペクトル ,  アニール ,  アルカリ性溶液 ,  ポリオキシエチレン ,  メソ多孔質体 ,  メソ多孔性 ,  高分解能透過型電子顕微鏡 ,  *有機シリカ

分類 (3件)： 有機けい素化合物  (CF08030C) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  誘電体一般  (BM05010F)

物質索引 (1件)： 1,1,3,3,5,5-ヘキサエトキシ-1,3,5-トリシラシクロヘキサン

タイトルに関連する用語 (4件)： 耐化学性 ,  環状 ,  炭素 ,  橋架け