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J-GLOBAL ID：201202236118062869   整理番号：12A0620636

シリコンスロットに基づく方向性結合器による光学センシング

Optical sensing by silicon slot-based directional couplers

著者 (2件)： NACER S. (Univ. of Blida, Dep. of Electronics, B.P. 270, Blida, DZA) ,  AISSAT A. (Univ. of Blida, Dep. of Electronics, B.P. 270, Blida, DZA)
資料名： Optical and Quantum Electronics  (Optical and Quantum Electronics)
巻： 44  号： 1-2  ページ： 35-43  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： A0205A  ISSN： 0306-8919  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スロット光導波路を使用する非対称方向性結合器に基づく光学液体センサを理論的に研究した。センシング原理は,検体屈折率変化により誘導された導波路の透過スペクトルシフトに基づいた。センサ設計ではシリコンオンインシュレータ技術を利用し,結合モード理論と有限要素法を用いてセンサモデリングを実行した。センサ特性に及ぼす幾何学的パラメータの影響を研究した。屈折率変化の最小検知感度は10^-6のオーダであることを理論的に予測できた。Copyright 2011 Springer Science+Business Media, LLC. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *光センサ ,  *方向性結合器 ,  ケイ素 ,  スロット導波管 ,  光導波路 ,  スペクトルシフト ,  絶縁材料 ,  モデリング ,  モード理論 ,  有限要素法 ,  化学センサ ,  半導体プロセス ,  絶縁体
準シソーラス用語： シリコンオンインシュレータ ,  液体センサ ,  光学センサ ,  光透過スペクトル ,  光方向性結合器

分類 (1件)： その他の光デバイス  (BD06060O)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン ,  スロット ,  方向性結合器 ,  光学 ,  センシング