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J-GLOBAL ID：201202236241260179   整理番号：12A0924498

2台の空間光変調素子を用いたホログラフィックフェムト秒レーザー加工システム~波長分散補正と偏光ベクトル制御~

Holographic femtosecond laser processing with dual spatial light modulators~wavelength dispersion compensation and poralization vector control~

著者 (2件)： 長谷川智士 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ) ,  早崎芳夫 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 112  号： 62(LQE2012 1-12)  ページ： 37-42  発行年： 2012年05月18日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 空間光変調素子に表示された計算機ホログラムを用いたフェムト秒レーザー加工は,ホログラフィックフェムト秒レーザー加工と呼ばれ,高い加工スループットと高い光利用効率を実現する。100fs以下のパルス幅を有するフェムト秒レーザー光源を用いる場合,フェムト秒パルスの広帯域なスペクトル幅に起因するホログラムの波長分散は,サンプル面での集光ビームプロファイルを歪ませ,パルスエネルギーの時空間的な広がりを生じさせる。そのため,波長分散は高精度で高効率なレーザー加工に不適切である。本研究では,波長分散を補正可能な2台の空間光変調素子を用いたホログラフィックフェムト秒レーザー加工システムについて述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： 光変調素子 ,  *空間光変調素子 ,  フォトリソグラフィー ,  パルスレーザ ,  *レーザ加工 ,  加工システム ,  *分散【dispersion】 ,  制御 ,  計算機ホログラム ,  スループット ,  *ベクトル制御 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： ホログラフィックリソグラフィー ,  光利用効率 ,  波長分散 ,  偏光制御

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (45件)：

• DU, D. Laser-induced breakdown by impact ionization in SiO2 with pulse widths from 7 ns to 150 fs. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 23, 3071-3073
• KUMAGAI, H. Ablation of polymer films by a femtosecond high-peak-power Ti:sapphire laser at 798 nm. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 14, 1850-1852
• CHICHKOV, B. N. Femtosecond, picosecond and nanosecond laser ablation of solids. Appl. Phys. A. 1996, 63, 2, 109-115
• DAVIS, K. M. Writing waveguides in glass with a femtosecond laser. Opt. Lett. 1996, 21, 21, 1729-1731
• GLEZER, E. N. Three-dimensional optical storage inside transparent materials. Opt. Lett. 1996, 21, 24, 2023-2025

タイトルに関連する用語 (4件)： 空間光変調素子 ,  ホログラフィック ,  フェムト秒レーザー加工 ,  波長分散