ゾル-ゲル誘導(Ba0.835Ca0.165)(Zr0.09Ti0.91)O3薄膜の構造および誘電性質に対するMnドーピングの効果

LIN Yanting; MIAO Xinrui; QIN Ni; ZHOU Hong; DENG Wenli; BAO Dinghua

文献

J-GLOBAL ID：201202236285275874 整理番号：12A0834113

ゾル-ゲル誘導(Ba_0.835Ca_0.165)(Zr_0.09Ti_0.91)O₃薄膜の構造および誘電性質に対するMnドーピングの効果

Effects of Mn doping on structural and dielectric properties of sol-gel-derived (Ba_0.835Ca_0.165)(Zr_0.09Ti_0.91)O₃ thin films

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資料名：
巻： 520 号： 16 ページ： 5146-5150 発行年： 2012年06月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

ゾル-ゲル法により調製した(Ba_0.835Ca_0.165)(Zr_0.09Ti_0.91)O₃(BCZT)薄膜の構造および誘電性質に対するMnドーピングの効果を報告する。(Ba_0.835Ca_0.165)Mn_x(Zr_0.09Ti_0.91)_1-xO₃(x=0,0.002,0.005,および0.01)は,ランダム配向をもつ純粋な擬立方ペロブスカイト構造を示した。走査型電子顕微鏡法および原子間力顕微鏡法観察は,Mnドーピング量を増すと粒子寸法および粒子のクラスターが減少するが,膜表面は滑らかで亀裂がないままであることを示した。無ドープ膜と比較して,MnドープBCZT薄膜はより小さな誘電定数そしてより低い誘電損失を示した。100kHzで400kV/cmのバイアス電場を印加したとき,0.5mol%のMnドーピングの膜に対して性能示数は16.7の最大値に達し,可同調性は53.6%だった。結果は,MnドープBCZT薄膜が波長可変マイクロ波デバイス応用に適していることを示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

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誘電体一般 , 酸化物薄膜

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