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J-GLOBAL ID：201202236361402929   整理番号：12A0612282

化学的に噴霧した(Sn_1-xAl_x,O₂)(0≦x≦0.085)薄膜のサブミクロンサイズの粒子の詳細な研究

Detailed investigation of submicrometer-sized grains of chemically sprayed (Sn_1-x Al _x , O₂) (0≦ x ≦0.085) thin films

著者 (7件)： BENHALILIBA M. (Physics Dep., Sci. Fac., Oran Univ. of Sciences and Technol., USTOMB, BP1505 Oran, DZA) ,  BENOUIS C.e. (Physics Dep., Sci. Fac., Oran Univ. of Sciences and Technol., USTOMB, BP1505 Oran, DZA) ,  YAKUPHANOGLU F. (Firat Univ., Physics Dep., Fac. of Sciences and Arts, 23119 Elazig, TUR) ,  TIBURCIO-SILVER A. (ITT-DIEE, Apdo, Postal 20, Metepec 3, 52176 Estado de Mexico, MEX) ,  AYDIN C. (Firat Univ., Physics Dep., Fac. of Sciences and Arts, 23119 Elazig, TUR) ,  HAMZAOUI S. (Lab. de Microscope Electronique et Sciences des Materiaux, USTOMB, BP1505 Oran, DZA) ,  MOUFFAK Z. (Dep. of Electrical and Computer Engineering, California State Univ., Fresno, CA, USA)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 527  ページ： 40-47  発行年： 2012年06月25日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,化学的に噴霧したスズ酸化物SnO₂のサブミクロンサイズの粒子を調べた。x=0~0.085の膜Sn_1-xAl_x,O₂を噴霧熱分解により300°Cの固定した温度でガラス上に成長させた。構造的,光学的,電気的及び形態学的性質を調べた。これらの膜は正方晶結晶構造の多結晶で,(200)面に沿って優先配向した。原子間力顕微鏡(AFM)分析からナノ粒子構造を示した。これらのナノ構造化膜は可視光域と赤外域で高い透明性を示し,1~1000Ωcmの電気抵抗を示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： エレクトロセラミック ,  *透明導電膜 ,  *酸化スズ ,  添加剤 ,  酸化アルミニウム ,  *製膜 ,  微細構造 ,  正方晶系 ,  多結晶 ,  優先配向 ,  透光性 ,  セラミック膜 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  電気抵抗率 ,  *ナノ構造 ,  膜 ,  ナノシート
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  ナノ膜

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 化学 ,  噴霧 ,  O2 ,  薄膜 ,  サブミクロンサイズ ,  研究