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J-GLOBAL ID：201202237197106511   整理番号：12A0443968

多層Al/Tiのナノ構造中に金属間化合物のレーザー誘起形成

Laser-induced formation of intermetallics in multilayered Al/Ti nano-structures

著者 (7件)： PERUSKO D. (Univ. of Belgrade, VINCA Inst. of Nuclear Sciences, PO Box 522, 11001, Belgrade, Serbia) ,  PETROVIC S. (Univ. of Belgrade, VINCA Inst. of Nuclear Sciences, PO Box 522, 11001, Belgrade, Serbia) ,  KOVAC J. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000, Ljubljana, SVN) ,  STOJANOVIC Z. (Univ. of Belgrade, VINCA Inst. of Nuclear Sciences, PO Box 522, 11001, Belgrade, Serbia) ,  PANJAN M. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000, Ljubljana, SVN) ,  OBRADOVIC M. (Univ. of Belgrade, VINCA Inst. of Nuclear Sciences, PO Box 522, 11001, Belgrade, Serbia) ,  MILOSAVLJEVIC M. (Univ. of Belgrade, VINCA Inst. of Nuclear Sciences, PO Box 522, 11001, Belgrade, Serbia)
資料名： Journal of Materials Science  (Journal of Materials Science)
巻： 47  号： 10  ページ： 4488-4495  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si(100)ウェーハ上にDCイオンスパッタリングによって300nmの合計厚さに堆積した8(Al/Ti)二層から成る多層構造を,空気中でピコ秒パルスNd:YAGレーザーでデフォーカス処理した。照射は,1064nmの波長で,パルスあたりのエネルギー15mJで,45°の入射角で,200の連続パルスで直径2mmの領域をカバーして行った。試料は電子顕微鏡,原子間力顕微鏡,X線光電子分光法,透過型電子顕微鏡により分析した。レーザー照射誘起融解とAl-Tiナノ合金化が(最大150nmの深さで)上位4二重層内で進行することがわかった。一方,多層構造の下部はそのまま残った。別の興味深い結果として,規則的な(1.4μmの周期と100nmの振幅)波状の表面形状が溶融と反応材料の領域を通じて発達した。Copyright 2012 Springer Science+Business Media, LLC Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *アルミニウム ,  *チタン ,  *多層構造 ,  *金属薄膜 ,  基板 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  *イオンビームスパッタリング ,  *パルスレーザ照射 ,  ナノ構造 ,  *金属間化合物 ,  レーザ融解 ,  合金化
準シソーラス用語： Siウエハ ,  イオンスパッタリング

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 多層 ,  Al ,  Ti ,  ナノ構造 ,  金属間化合物 ,  レーザー誘起