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J-GLOBAL ID:201202237403277956   整理番号:12A1712134

グラフェン上のピンホールの無い均質な1nmのAl2O3トンネル障壁

Homogeneous pinhole free 1 nm Al2O3 tunnel barriers on graphene
著者 (10件):
資料名:
巻: 101  号: 20  ページ: 203104-203104-3  発行年: 2012年11月12日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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グラフェン上の厚み1nmのAl2O3誘電体薄膜の形態特性と電気的性質を報告する。Al2O3はグラフェン上に0.6nmのAl層をスパッタリングにより成長させた後,酸素雰囲気中で酸化させた。Al2O3層にはピンホールが無く,トンネル障壁として十分に均質であった。抵抗-面積積はMΩμm2領域にあった。比較のため,蒸着によるAl2O3成長はグラフェン上に十分に濡れた膜をもたらさなかった。グラフェン中の効率的スピン注入へのこの高品質スパッタトンネル障壁の応用を論じた。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 
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