文献

J-GLOBAL ID：201202238008475354   整理番号：12A0674423

ラメラ格子ベースMEMS Fourier変換スペクトロメータ

Lamellar-Grating-Based MEMS Fourier Transform Spectrometer

著者 (7件)： SEREN Huseyin R. (Koc Univ., Istanbul, TUR) ,  SEREN Huseyin R. (Boston Univ., MA, USA) ,  HOLMSTROM Sven (Koc Univ., Istanbul, TUR) ,  AYERDEN N. Pelin (Koc Univ., Istanbul, TUR) ,  SHARMA Jaibir (Koc Univ., Istanbul, TUR) ,  SHARMA Jaibir (Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  UREY Hakan (Koc Univ., Istanbul, TUR)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 21  号： 2  ページ： 331-339  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超低動的変形と良好なモード分離によって高い偏向を実現でき,格子開口部面積が10mm²の微細加工ラメラ格子干渉計Fourier変換スペクトロメータを開発した。機械的自動停止器を導入して500G超の耐衝撃性を実現した。システムは楕円反射器,光検出器,零交差検出器,干渉計,赤外線検出器等から成り,71.2V,340Hzでの最大偏向は±356μmであり,680スペクトル/秒を記録でき,633nmのHeNeレーザによるスペクトル分解能は0.54nmであった。

シソーラス用語： *スペクトロメータ ,  *Fourier変換 ,  MEMS ,  層状組織 ,  衝撃強さ ,  光学系 ,  分解能 ,  *赤外分光法 ,  システム設計 ,  有限要素法 ,  機械的性質 ,  キャラクタリゼーション ,  光偏向

分類 (1件)： スペクトル計測及びスペクトロメータ  (AD08030U)

タイトルに関連する用語 (5件)： ラメラ ,  格子 ,  MEMS ,  Fourier変換 ,  スペクトロメータ