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J-GLOBAL ID：201202238350181567   整理番号：12A0583967

Naをドープしたp型非極性a面ZnO膜のパルスレーザ蒸着法による成長

Growth of Na doped p-type non-polar a-plane ZnO films by pulsed laser deposition

著者 (6件)： LI Yang ,  ZHANG Yinzhu ,  HE Haiping ,  YE Zhizhen ,  JIANG Jie ,  CAO Lin
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 76  ページ： 81-83  発行年： 2012年06月01日 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非極性ZnO:Na膜をr面サファイア基板上に異なるNaドーピング濃度でパルスレーザ蒸着法により作製した。X線回折と走査型電子顕微鏡分析から,Na濃度が1%から2%のZnO:Na膜は特異な非極性<11-20>配向を示し,Na濃度が2%以上で蒸着させた膜は<0001>と<11-20>混合配向を示した。異方性ストライプ状形態がNa濃度2%以下で認められた。安定したp型非極性のZnO:Na膜が2%のNaドープで得られ,X線光電子分光法からp型挙動の源となるNa_Znアクセプタの存在を示唆した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *半導体薄膜 ,  ナトリウム ,  ドーピング ,  基板 ,  サファイア ,  *レーザ蒸着 ,  パルスレーザ照射 ,  *薄膜成長 ,  結晶構造 ,  表面構造 ,  *電気特性 ,  配向 ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： 表面形態

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： Na ,  ドープ ,  非極性 ,  ZnO ,  パルスレーザ蒸着 ,  成長