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J-GLOBAL ID：201202238522395351   整理番号：12A1411253

光補助金属有機化学蒸着によるZnO膜の制御可能な光促進成長

Photofacilitated Controllable Growth of ZnO Films Using Photoassisted Metal Organic Chemical Vapor Deposition

著者 (13件)： SHI Zhifeng (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  WU Bin (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  CAI Xupu (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  XIA Xiaochuan (Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN) ,  ZHANG Shikai (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  YIN Wei (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  WANG Hui (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  WANG Jin (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  DONG Xin (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  ZHANG Yuantao (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  ZHANG Baolin (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  DU Guotong (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  DU Guotong (Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN)
資料名： Crystal Growth & Design  (Crystal Growth & Design)
巻： 12  号： 9  ページ： 4417-4424  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： W1323A  ISSN： 1528-7483  CODEN： CGDEFU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高密度のZnO単結晶の薄膜を光補助の制御可能な方法によって形成した。光照射によって,初期の核成長とその後のZnO層の成長が促進され,その結果高品質,高密度のZnO膜を形成した。この高い核成長速度と密度の光促進核成長機構によって,ZnO形成の変化を説明した。さらに,温度依存性の光ルミネセンス(PL)は強い励起子効果を示し,光照射によって成長したZnO薄膜は欠陥密度の低い高品質の結晶になった。この方法はUV発光ダイオード(UV-LEDs)やレーザーダイオード(LDs)のような光電子工学素子に使用できる単結晶ZnO膜の形成に有効である。

シソーラス用語： 酸素 ,  *紫外線照射 ,  光分解 ,  サファイア ,  基板 ,  *酸化亜鉛 ,  *半導体薄膜 ,  *MOCVD ,  核形成 ,  薄膜成長 ,  *光ルミネセンス ,  温度依存性 ,  励起子 ,  欠陥密度 ,  *結晶度 ,  発光ダイオード ,  半導体レーザ ,  電子顕微鏡観察 ,  X線回折

分類 (4件)： 固-固界面  (CB12060M) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光化学反応  (CB08020F) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

物質索引 (1件)： ジエチル亜鉛

タイトルに関連する用語 (4件)： 金属有機化学蒸着 ,  ZnO ,  促進 ,  成長