反応性パルスマグネトロンスパッタ法により堆積したサブナノメータZrNクラスターで促進される抗菌性Ag-ZrN表面

BAGHRICHE O.; BAGHRICHE O.; KIWI J.; PULGARIN C.; SANJINES R.

文献

J-GLOBAL ID：201202238849937689 整理番号：12A0231427

反応性パルスマグネトロンスパッタ法により堆積したサブナノメータZrNクラスターで促進される抗菌性Ag-ZrN表面

Antibacterial Ag-ZrN surfaces promoted by subnanometric ZrN-clusters deposited by reactive pulsed magnetron sputtering

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資料名：
巻： 229 号： 1 ページ： 39-45 発行年： 2012年02月01日
JST資料番号： D0721B ISSN： 1010-6030 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

Ag-ZrN薄膜はAr+N₂雰囲気中,直流パルスマグネトロンスパッタ(今後はDCMSP)により,ポリエステルに堆積させた。ポリエステル表面上のZrNはAgと相関しAg-ZrN膜となった。これらの複合薄膜はそれ自体によるAg膜と比較すると大腸菌の不活性化を更に活性化した。Ag-ZrNポリエステル表面の大腸菌の不活性化動力学はAgだけをスパッタしたサンプルと比較すると4倍以上に加速された。N₂雰囲気下でZrのスパッタリングを,短時間(一分以下)で用いると,それ自体では抗菌性活性は無かった。300mAで20秒スパッタリングを行ったAg-ZrNポリエステルサンプルは,11/2時間内で最速の抗菌性大腸菌不活性化となった。このサンプルは15-40nmの大きさのAg粒子から成り,層厚が30-45nm内にあり,AgターゲットからAg^o/Ag-イオンフラックスに対して~60-70%のポリエステル繊維を被覆した。20秒間のAgスパッタが,Ag-負荷/Agクラスタサイズの最適比となるのは,Ag部量が最も多くポリエステル表面に露出している時だった。20秒以上Agナノ粒子をスパッタリングすると,更に大きな単位で凝集し,バクテリアの不活性化時間を長くした。Ag原子はZrN層と混和しなかった。スパッタ時間を長くするとAg-ZrNの厚さが増し,Ag-ZrNのスパッタされた層には付随して皺の多さと疎水性が増えた。最近の技術の幾つかを使って触媒Ag-ZrN膜の構造を詳細に調べ特性化した。Ag-ZrN膜は単一の金属分布と半透明の灰褐色を示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

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薄膜成長技術・装置 , 滅菌法

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