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J-GLOBAL ID:201202239183486624   整理番号:12A0058742

静止した基板上に堆積した低組織等方性熱分解炭素の熱膨張係数

Coefficients of thermal expansion of low texture and isotropic pyrocarbon deposited on stationary substrates
著者 (6件):
資料名:
巻: 68  ページ: 68-70  発行年: 2012年02月01日 
JST資料番号: E0935A  ISSN: 0167-577X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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天然ガスを炭素源に用いて950°Cと1050°Cの間で熱壁反応器化学蒸着により低組織で等方的な熱分解炭素を調製した。熱分解炭素の形態と組織のキャラクタリゼーションを,透過型電子顕微鏡により行い,熱膨張係数(CTE)をNetszch Dilatometer 402Cを用いて,試料厚さ方向に平行および垂直方向で測定した。その結果,蒸着温度が950°Cから1050°Cに増加すると,熱分解炭素の破壊表面は粗くなりそしてグラフェン層の長さ徐々に増加しそして熱分解炭素は低組織から等方性に変化することが分かった。両方向のCTEはほとんど同じで300°C以下では負になった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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炭素とその化合物 
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