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J-GLOBAL ID：201202239202000940   整理番号：12A1221143

毛管力リソグラフィーによる強く構造化された有機半導体ミクロパターンのスケーラブル組み立て

Scalable Fabrication of Strongly Textured Organic Semiconductor Micropatterns by Capillary Force Lithography

著者 (4件)： JO Pil Sung (Stanford Univ., California, USA) ,  VAILIONIS Arturas (Stanford Univ., California, USA) ,  PARK Young Min (Stanford Univ., California, USA) ,  SALLEO Alberto (Stanford Univ., California, USA)
資料名： Advanced Materials  (Advanced Materials)
巻： 24  号： 24  ページ： 3269-3274  発行年： 2012年06月26日 
JST資料番号： W0001A  ISSN： 0935-9648  CODEN： ADVMEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ジオクチルベンゾチエノベンゾチオフェン(C₈BTBT)溶液を毛管力リソグラフィーにより酸化ケイ素/ケイ素基板上に配置し,グレーテイングアレイ構造をもつPDMSテンプレートの圧着,加熱硬化によりミクロ線状アレイパターンを形成した。アレイと直交する方向に金ストリップを蒸着してソースおよびドレイン電極を形成してOFETを作製した。光学顕微鏡,X線回折,透過型電子顕微鏡,制限視野回折によりキャラクタリゼーションを行った。電流電圧特性を測定した。キャリア移動度は最高2.5~3.0cm²/Vsに達した。

シソーラス用語： *芳香族縮合化合物 ,  *硫黄複素環化合物 ,  有機半導体 ,  溶液 ,  パターン形成 ,  酸化ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  鋳型反応 ,  ポリジメチルシロキサン ,  付着 ,  架橋【高分子】 ,  アレイ ,  金電極 ,  蒸着 ,  ソース【半導体】 ,  ドレイン【半導体】 ,  *FET【トランジスタ】 ,  光学顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  制限視野回折 ,  電流電圧特性 ,  キャリア移動度
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  ケイ素基板 ,  スロットアレイ ,  テンプレート【鋳型反応】 ,  ミクロパターン形成 ,  圧着 ,  硬化【高分子】 ,  毛管力リソグラフィー ,  OFET ,  *ベンゾチエノベンゾチオフェン誘導体 ,  ベンゾチオフェン誘導体

分類 (4件)： チオフェンの縮合誘導体  (CF07075U) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  固-気界面一般  (CB12041H) ,  トランジスタ  (NC03070N)

物質索引 (1件)： 2,7-ジオクチル[1]ベンゾチエノ[3,2-b][1]ベンゾチオフェン

タイトルに関連する用語 (5件)： 毛管力 ,  リソグラフィー ,  有機半導体 ,  ミクロパターン ,  組み立て