文献

J-GLOBAL ID：201202239437731446   整理番号：12A1215575

ピコ秒およびナノ秒レーザによるシリコンの並列マイクロ加工用のマイクロレンズ多スポット生成器の検討

Investigation of micro lens multi spot generator for parallel micromachining of silicon with picosecond and nanosecond laser

著者 (4件)： ZIMMERMANN Maik (Bayerisches Laserzentrum GmbH, Erlangen, DEU) ,  ZIMMERMANN Maik (Friedrich-Alexander-Univ. Erlangen-Nuernberg, Erlangen, DEU) ,  ROTH Stephan (Bayerisches Laserzentrum GmbH, Erlangen, DEU) ,  ROTH Stephan (Friedrich-Alexander-Univ. Erlangen-Nuernberg, Erlangen, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8243  ページ： 824312.1-824312.10  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ビームを規定されたグリッドとスポットサイズを持つ周期的スポットパターンへと分割する多数スポット光学系が,並列化生産と大規模材料加工に使用されている。フライアイコンデンサーレンズによるマイクロレンズアレイを均一スポットパターンの生成に向け検討した。多スポット生成器の原理的機能を示し,この光学系の制約を実証した。シリコンのマイクロ構造形成には波長が355nmのナノ秒とピコ秒レーザーによる多数点スポット生成器を用いた。この多スポット生成器によって入射ビームが28の単一スポットからなる線形スポットマトリックスへと分割される。多数スポット生成器を用いたアブレーション速度と構造品質を,従来の加工と比較し検討した。多スポット生成器を用いることによってアブレーション効率と構造品質が増すことが示された。

シソーラス用語： レーザ加工 ,  *パルスレーザ照射 ,  並列処理 ,  微細加工 ,  レーザパルス ,  ピコ秒 ,  ナノ秒 ,  アレイ ,  *パターン形成 ,  レンズ ,  ケイ素 ,  *光学系 ,  レーザアブレーション
準シソーラス用語： ビームスポット ,  マイクロレンズアレイ ,  複眼レンズ

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  光の像形成  (BD03050I)

タイトルに関連する用語 (7件)： ピコ秒 ,  ナノ秒レーザ ,  シリコン ,  マイクロ加工 ,  マイクロレンズ ,  スポット ,  生成器