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J-GLOBAL ID：201202239599881220   整理番号：12A0004758

プラスチックシート上の希土類イオン添加ナノ粒子から成る無機発光膜の焼成とエッチングの無いフォトリソグラフィー

Calcination- and Etching-Free Photolithography of Inorganic Phosphor Films Consisting of Rare Earth Ion Doped Nanoparticles on Plastic Sheets

著者 (6件)： WATANABE Satoshi (Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN) ,  HYODO Hiroshi (Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN) ,  TAGUCHI Hirohisa (Chukyo Univ., Toyota, JPN) ,  SOGA Kohei (Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN) ,  TAKANASHI Yoshifumi (Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN) ,  MATSUMOTO Mutsuyoshi (Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN)
資料名： Advanced Functional Materials  (Advanced Functional Materials)
巻： 21  号： 22  ページ： 4264-4269  発行年： 2011年11月22日 
JST資料番号： W1336A  ISSN： 1616-301X  CODEN： AFMDC6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 希土類イオンを含む無機発光膜のパターニングにソフトリソグラフィーが注目されているが,エッチングおよび前駆体の焼成が必要である。本研究では,パターン化した無機発光膜を,焼成とエッチングが不要のフォトリソグラフィーにより作製した。プラスチック基板上にフォトレジストをパターン化させ,ディップコーティングにより膜を形成後,レジスト部分を除去した。膜は,1mol%Er³⁺および0.85mol%Yb³⁺を添加した平均粒径300nmのY₂O₃₃ナノ粒子から成る。発光および透過スペクトル測定と,SEM,光学顕微鏡およびAFM観察により評価した。90%以上の可視光透過率が得られ,アップコンバージョンも観察され,提案したパターニング法の有効性を示した。

シソーラス用語： エレクトロセラミック ,  *蛍光体 ,  ナノ粒子 ,  *酸化イットリウム ,  ドーパント ,  エルビウム ,  イッテルビウム ,  パターン形成 ,  レジスト ,  湿式法 ,  フォトリソグラフィー ,  製膜 ,  *光ルミネセンス ,  非線形光学

分類 (3件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラスチックシート ,  希土類イオン ,  ナノ粒子 ,  焼成 ,  エッチング ,  フォトリソグラフィー