文献

J-GLOBAL ID：201202239896287117   整理番号：12A0577592

静電気放電発生箇所検出システムの開発

Development of a Practical ESD Detector System

著者 (2件)： 尾前宏 (鹿児島県工技セ) ,  加藤正明 (日本計器 鹿児島製作所)
資料名： 静電気学会誌  (Journal of the Institute of Electrostatics Japan)
巻： 36  号： 1  ページ： 31-36  発行年： 2012年01月31日 
JST資料番号： S0175A  ISSN： 0386-2550  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 静電放電(ESD)の発生位置と正しい時間の検出系を開発した。試験する装置の近傍に4個のアンテナを置き,ESDに伴う電磁波をデジタルオシロスコープで記録し,ESD源の位置を双曲線法で求めた。可視光のレーザレンジファインダを位置決めツールとして用い,検出系の設置とESD源の特定のための特殊な作業は短時間高精度でできた。使用したオシロスコープ(20GS/s)では,理論計算誤差は5cmで実験誤差は11cmであった。ESD試験装置(IEC61340-3-1HBM)で行った実験では,40VのESDを(X:3m,Y:3m,Z:-0.5m)で検出した。ESD試験装置(IEC61000-4-2HBM)で行った実験では,200VのESDを(X:15m,Y:6.5m,Z:-0m)で検出した。実際の製造現場で起こったESDの源と原因についても特に議論する。

シソーラス用語： *検出 ,  *アンテナ ,  電磁波 ,  双曲線 ,  誤差 ,  *放電 ,  静電気 ,  距離計 ,  オシロスコープ ,  システム ,  位置測定
準シソーラス用語： ディジタルオシロスコープ ,  レーザレンジファインダ ,  *静電放電 ,  検出システム

分類 (1件)： 放電装置  (BJ03040P)

引用文献 (6件)：

• 藤江明雄. 2005年度静電気障害防止技術シンポジウム. 2005, 33
• 藤江明雄. RCJ信頼性シンポジウム発表論文集, 2003. 2003, 13, 193
• LIN, D. L. EOS/ESD Symposium 97. 1997, 88
• BERNIIER, Joe. EOS/ESD Symposium 97. 1997, 83
• 渡辺壮一. 信学論B. 2001, J84-B, 6, 1033-1042

タイトルに関連する用語 (4件)： 静電気放電 ,  箇所 ,  検出システム ,  開発