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J-GLOBAL ID：201202240572250545   整理番号：12A0098024

多孔質シリコンナノ構造上にRFスパッタされたZnO層の構造的,光学的及び電気的特性に及ぼすメソ多孔質基板表面形態の影響

Influence of mesoporous substrate morphology on the structural, optical and electrical properties of RF sputtered ZnO layer deposited over porous silicon nanostructure

著者 (8件)： KUMAR Yogesh (CIICAp, UAEM, Av. Universidad 1001, Col. Chamilpa, Cuernavaca, C.P. 62209, Mor., MEX) ,  KUMAR Yogesh (CIMAV, Av. Miguel de Cervantes 120,Complejo Industrial Chihuahua, Chihuahua, C.P. 31109, MEX) ,  GARCIA J. Escorcia (CIICAp, UAEM, Av. Universidad 1001, Col. Chamilpa, Cuernavaca, C.P. 62209, Mor., MEX) ,  SINGH Fouran (Materials Sci. Group, Inter Univ. Accelerator Centre, Aruna Asaf Ali Marg, New Delhi 110067, IND) ,  OLIVE-MENDEZ S.f. (CIMAV, Av. Miguel de Cervantes 120,Complejo Industrial Chihuahua, Chihuahua, C.P. 31109, MEX) ,  SIVAKUMAR V.v. (Materials Sci. Group, Inter Univ. Accelerator Centre, Aruna Asaf Ali Marg, New Delhi 110067, IND) ,  KANJILAL D. (Materials Sci. Group, Inter Univ. Accelerator Centre, Aruna Asaf Ali Marg, New Delhi 110067, IND) ,  AGARWAL V. (CIICAp, UAEM, Av. Universidad 1001, Col. Chamilpa, Cuernavaca, C.P. 62209, Mor., MEX)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 7  ページ： 2283-2288  発行年： 2012年01月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メソ多孔質シリコン(PS)基板上にRFスパッタされた酸化亜鉛(ZnO)薄膜の表面形態的,光学的及び輸送特性を研究した。基板空隙率がZnOの結晶粒粗大化及び輸送特性に及ぼす効果を分析した。ZnO-PS構造の物理的及び光学的特性を,走査型電子顕微鏡(SEM),X線回折(XRD),原子間力顕微鏡(AFM)及び光ルミネセンス(PL)分光を用いて調べた。実験結果は,PS基板の空隙率を変えると,ZnOナノ結晶粒の空間分布の規則性制御が可能であることを示した。ZnOの表面形態と結晶粒サイズはPS基板の表面形態と細孔径に強く依存したが,金属半導体接合の整流係数は,係数3も変わり得ることが見出された。このようなメソ多孔質基板/鋳型上への半導体酸化物蒸着は,それらの特性を制御し,センシング応答を増幅する可能性を提供した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *多孔質シリコン ,  基板 ,  *ナノ構造 ,  *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  表面構造 ,  RFスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  結晶粒粗大化 ,  *光ルミネセンス ,  空隙率 ,  細孔径分布 ,  *半導体金属接合 ,  整流 ,  ナノ結晶 ,  X線回折 ,  鋳型効果 ,  ガスセンサ
準シソーラス用語： メソ多孔質 ,  表面形態

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  半導体-金属接触  (BM03084G)

タイトルに関連する用語 (9件)： 多孔質シリコン ,  ナノ構造 ,  RFスパッタ ,  ZnO ,  光学 ,  電気的特性 ,  メソ多孔質 ,  基板表面 ,  形態