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J-GLOBAL ID：201202240998534818   整理番号：12A0895209

埋め込みSi₃N₄層を備えたポリマー系表面回折格子結合器

A polymer-based surface grating coupler with an embedded Si₃N₄ layer

著者 (10件)： WANG Linghua (Photonics Res. Group, INTEC-Department, Ghent University-IMEC, Ghent B-9000, BEL) ,  LI Yanlu (Photonics Res. Group, INTEC-Department, Ghent University-IMEC, Ghent B-9000, BEL) ,  GARCIA PORCEL Marco (Photonics Res. Group, INTEC-Department, Ghent University-IMEC, Ghent B-9000, BEL) ,  VERMEULEN Diedrik (Photonics Res. Group, INTEC-Department, Ghent University-IMEC, Ghent B-9000, BEL) ,  HAN Xiuyou (School of Physics and Optoelectronic Technol., Dalian Univ. of Technol., Dalian 116023, CHN) ,  WANG Jinyan (Dep. of Polymer Sci. & Materials, Dalian Univ. of Technol., Dalian 116023, CHN) ,  JIAN Xigao (Dep. of Polymer Sci. & Materials, Dalian Univ. of Technol., Dalian 116023, CHN) ,  BAETS Roel (Photonics Res. Group, INTEC-Department, Ghent University-IMEC, Ghent B-9000, BEL) ,  ZHAO Mingshan (School of Physics and Optoelectronic Technol., Dalian Univ. of Technol., Dalian 116023, CHN) ,  MORTHIER Geert (Photonics Res. Group, INTEC-Department, Ghent University-IMEC, Ghent B-9000, BEL)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 111  号： 11  ページ： 114507-114507-5  発行年： 2012年06月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリマーは一体型フォトニクス装置に対する理想的な材料のオプションであると考えられてきた。これらの装置を評価するには,通常,端部カプリングのルートを選択して光をポリマー導波路内へ,またはその導波路から光をカプリングさせるが,これには表面カプリングに比べて,より困難なアラインメント処理が必要となる。ポリマーの比較的低い屈折率の故に,この材料系において表面カプリング用の表面回折格子結合器を実現するのは依然挑戦的課題である。本論文では,ポリマー系表面回折格子結合器を提示する。本装置は,高価な相補型金属酸化膜半導体(CMOS)を作製することによってではなく,独自開発の低損失ポリマー材料を用いたUVベースの簡易で速いソフトインプリント技術により作製する。導波路コアと下クラッド層との間にSi₃N₄薄層を埋め込むことにより結合効率が増強される。両端に回折格子結合器を有した直線導波路に対して単一モードファイバ(SMF)から単一モードファイバまで-19.8dB前後の挿入損失が得られた。出力光が多モードファイバで集光されると挿入損失を-17.3dB前後に低減させることができる。ポリマー導波路とSMFとの間で約12%の結合効率が実現した。3dBの伝送帯域幅は32nmで1550nmに中心がある。提案した表面回折格子結合器およびその容易な作製方法は,実用化にとって非常に魅力的であるはずである。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *窒化ケイ素 ,  *回折格子 ,  *重合体 ,  *光結合器 ,  押付成形 ,  光導波路 ,  被覆層 ,  効率 ,  挿入損 ,  埋込み【挿入】
準シソーラス用語： UVナノインプリント ,  クラッド層 ,  結合効率 ,  挿入損失 ,  *表面レリーフグレーティング ,  ポリマ導波路

分類 (2件)： その他の光伝送素子  (BD06040S) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 埋め込み ,  Si3N4 ,  ポリマー ,  回折格子結合器