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J-GLOBAL ID：201202241534256510   整理番号：12A0438290

パルス無線周波数グロー放電の空間発光分布:パルス周波数の影響

Spatial emission distribution of a pulsed radiofrequency glow discharge: Influence of the pulse frequency

著者 (4件)： VALLEDOR Rebeca ,  PISONERO Jorge ,  NELIS Thomas ,  BORDEL Nerea
資料名： Spectrochimica Acta. Part B. Atomic Spectroscopy  (Spectrochimica Acta. Part B. Atomic Spectroscopy)
巻： 68  ページ： 24-33  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： B0793A  ISSN： 0584-8547  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 射出放射の横からの測定をおこなうことによって,パルス無線周波数グロー放電(パルスrf GD)プラスマを分光器によって特性評価した。25%でデューティサイクル一定を保ちながら,異なるプラズマ位置での,異なるアルゴンおよび検体(すなわち,銅)発光線への,パルス周波数の変化(すなわち,100と10000Hzとの間)の影響を研究した。特に,2.5kHzの中間周波数が,アルゴンイオンがより低い周波数(すなわち,より長いパルス幅)によって好んで励起されながら,アルゴン原子の励起に好都合であることが観測された。さらに,銅原子の励起は,上エネルギーレベルへの強い依存性をもち,より高いレベルからの発光が,より低いパルス-rf周波数の使用によって好まれることが指摘された。一方で,ガス種および検体種(すなわち,それぞれArおよびCu)の空間分布がお互いに異なることがわかった:原子アルゴン発光は,原子銅発光よりもプラズマプルームに沿ってより長く広がった。さらに,イオン種は,アノードに近い領域で最大発光信号を有した;しかしながら,それらの発光信号は,アノードへの距離の増大で極めて高速に減衰した。それにもかかわらず,負のグローから離れた距離で;通常サンプラーコーン界面がGD-MS計器中に置かれた領域において,イオン発光を検出することが可能であることが強調されるべきである。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *周波数 ,  *原子発光分析 ,  空間分布 ,  銅 ,  アルゴン
準シソーラス用語： *パルス周波数 ,  *グロー放電発光分析

分類 (1件)： 一般及び無機化合物の蛍光・りん光(分子)  (BH06061R)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルス ,  無線周波数 ,  グロー放電 ,  分布 ,  パルス周波数