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J-GLOBAL ID：201202241934127689   整理番号：12A1754312

物理的洗浄ウィンドウに対する構造の界面強度および寸法の影響

Effects of Interfacial Strength and Dimension of Structures on Physical Cleaning Window

著者 (15件)： KIM Tae-Gon (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  KIM Tae-Gon (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  PACCO Antoine (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  WOSTYN Kurt (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  BREMS Steven (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  XU XiuMei (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  STRUYF Herbert (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  ARSTILA Kai (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  VANDEVELDE B. (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  PARK Jin-Goo (Hanyang Univ., Ansan, KOR) ,  DE GENDT Stefan (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  DE GENDT Stefan (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  MERTENS Paul W. (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  HEYNS Marc (Imec vzm, Leuven, BEL) ,  HEYNS Marc (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
資料名： Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena  (Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena)
巻： 187  ページ： 123-126  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0583A  ISSN： 1012-0394  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： 物理 ,  洗浄 ,  ウィンドウ ,  界面強度