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J-GLOBAL ID:201202242556512583   整理番号:12A0610969

平坦化された局所下部ゲート電極を用いた多櫛形グラフェン量子容量バラクタの動作

Operation of multi-finger graphene quantum capacitance varactors using planarized local bottom gate electrodes
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巻: 100  号: 14  ページ: 143102-143102-4  発行年: 2012年04月02日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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平坦化された局所下部ゲート電極,HfO2ゲート誘電体と大面積のグラフェンを用いて作製した多櫛形グラフェン量子容量バラクタの動作を述べた。ゲートバイアスの関数として,素子は,±2Vの電圧範囲にわたって,1.22-1の室温静電容量の調整範囲を示した。65mVの標準偏差のランダム電位変動を含めると,温度依存性の容量-電圧特性の優れた理論的適合性が得られた。結果は,無線センサ応用のためのグラフェン量子容量バラクタを実現するための最初のステップを表した。(翻訳著者抄録)
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