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J-GLOBAL ID：201202243243988605   整理番号：12A1318574

偏光位相シフト,横方向シアリング,周期光経路配置での直角の高精度内部測定のための単純な技術

Simple technique for the accurate internal measurement of a right angle with a polarization phase-shifting, lateral-shearing, cyclic path optical configuration

著者 (2件)： CHATTERJEE Sanjib (Raja Ramanna Centre for Advanced Technol., Indore, IND) ,  KUMAR Y.Pavan (Raja Ramanna Centre for Advanced Technol., Indore, IND)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 51  号： 7  ページ： 073601.1-073601.6  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 直角を正確に内部測定する方法が検討されている。様々な方法が検討されているが,光を利用した方法に着目した。本論文では,直角の高精度内部測定のための単純な技術について検討した。自己参照技術を提案した。偏光位相シフト,横方向シアリング,周期光経路配置を利用した。この方法では,入力ビームとして,一対の横分離平面波成分のビームを利用した。平面波前部の入力対を利用して,相互傾斜平面波成分の間で適当な横方向剪断を誘起した。偏光状態が同じ場合,二ビームFizeau干渉縞が生成した。一例として,直角プリズムを検討した。この結果,Fizeau干渉縞の間隔を利用することで,偏光位相シフト干渉法で得られる光路差分変化の傾斜から,直角を正確に計算できるようになった。

シソーラス用語： *直角 ,  *角度測定 ,  測定精度 ,  位相シフト ,  シヤリング干渉計 ,  横方向 ,  プリズム ,  干渉縞 ,  平面波 ,  *光干渉法
準シソーラス用語： Fizeau干渉計 ,  位相シフト干渉法 ,  光経路 ,  光路差 ,  高精度

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 偏光 ,  位相シフト ,  横方向 ,  シアリング ,  周期 ,  光経路 ,  直角