抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本稿では,Werth社のX線CT3次元測定機「TomoScope」を紹介する。工業用X線CTは,物体の内部構造を含めた3次元形状をコンピュータ上に再現できるため,内部構造のサイズや位置関係を知ることができ,高度な解析が可能となる。そのため,非破壊検査で長年使われてきたが,像の鮮明さに問題があった。これに対し,2005年にドイツWerth社が発表したX線CT3次元測定機TomoScopeは,高い鮮明さを実現し世界に衝撃を与えた。世界で初めてX線CTから得た形状データの寸法保証ができる商用機が発売されたのである。X線源のスポットサイズをミクロンレベルに縮小して半影の影響を抑え,分割測定により分解能を高め。さらに,3D画像合成時のキャリブレーションの精度を高めることで,非常に鮮明な画像の生成に成功した。その結果,再構成された3次元画像から寸法測定が可能になっており,±2μm以下の誤差で計測できる。その上,内部欠陥も同時に計測できるので,これまで見逃していた内部欠陥を発見することもできる。