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J-GLOBAL ID：201202243709260364   整理番号：12A0437420

水素化した非晶質炭素マトリクスに埋込まれた金属ナノ粒子からなるプラズマ支援化学蒸着ナノ複合材料の摩擦と摩耗の挙動

Friction and wear behavior of plasma assisted chemical vapor deposited nanocomposites made of metal nanoparticles embedded in a hydrogenated amorphous carbon matrix

著者 (4件)： PARDO A. ,  GOMEZ-ALEIXANDRE C. ,  CELIS J.p. ,  BUIJNSTERS J.g.
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 206  号： 13  ページ： 3116-3124  発行年： 2012年02月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水素化した非晶質炭素マトリクス(a-C:H)に埋め込まれた,あらかじめ作成した銀もしくはクロムのナノ粒子で形成されているナノ複合材料皮膜を,電子サイクロトロン共鳴プラズマ支援化学蒸着(ECR-CVD)で合成した。第一段では,エタノール懸濁液への浸漬でナノ粒子をシリコン基板上に分散した。第二段では,a-C:H層のECR-CVD蒸着を行った。摩擦と摩耗挙動への,金属粒子の導入とその濃度の影響を,環境大気中で行った,無潤滑の往復滑り試験で検討した。金属の環境との優先相互作用で,摩擦係数の減少がもたらされ,これはCr導入の方が大きかった。さらに,両方の金属で,金属濃度が増加すると摩擦係数は低くなった。滑りサイクル数が増加すると,摩擦係数の漸増が検出された。これは,滑り接触での,表面平滑化と酸化の複合効果の結果と考えられる。結論として,金属添加で,フラーレン状のa-C:H皮膜の,貴重な保護特性が向上した。その結果として,摩耗トラックでの表面粗さとその容積損失量がかなり減少し,これは1万サイクルの試験で特に顕著であった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ナノ複合材料 ,  *ナノ粒子 ,  銀 ,  クロム ,  *炭素材 ,  *水素化物 ,  プラズマCVD ,  基板 ,  ケイ素 ,  懸濁液 ,  *トライボロジー ,  *摩擦係数 ,  *耐摩耗性 ,  滑り摩耗 ,  被覆層
準シソーラス用語： *非晶質炭素 ,  摩耗痕

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (9件)： 水素化 ,  非晶質炭素 ,  マトリクス ,  金属ナノ粒子 ,  プラズマ支援化学蒸着 ,  ナノ複合材料 ,  摩擦 ,  摩耗 ,  挙動