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J-GLOBAL ID:201202243731257830   整理番号:12A1162014

ディップ法で酸化銅薄膜をコーティングした各種基板の物理的性質評価

Physical properties evaluation of various substrates coated cupric oxide thin films by dip method
著者 (2件):
資料名:
巻: 539  ページ: 50-56  発行年: 2012年10月25日 
JST資料番号: D0083A  ISSN: 0925-8388  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ガラス,インジウムをドープした酸化スズ(ITO),シリコン及びポリマー等の各種基板にディップコーティングした酸化銅(CuO)膜について報告した。膜厚は520~640nmであった。構造的,形態的,光学的,トポロジー的性質を調べた。X線回折から析出した膜は多結晶質の単斜晶構造で,(-111)面に優先配向していた。結晶子の大きさ,転位密度,マイクロ歪み及び積層欠陥確率を計算し,詳細に考察した。表面形態と元素分析を走査型電子顕微鏡とエネルギー分散X線分光で調べた。ガラス基板に作製した膜の表面はナノシート状粒子に覆われた均一な形態を示した。CuO膜の光学特性をUV-Vis-NIR波長領域で,透過と線吸収係数で分析した。Taucプロットから,ガラス基板の膜のバンドギャップは1.08eVであった。光学伝導度,平均励起エネルギー,振動子強度,有効質量,プラズマ周波数,静的誘電定数及びキャリア濃度を薄膜の透過スペクトルを用いて,確立された手順で開発した近似アルゴリズムを用いて推定した。各種基板はCuO膜の構造,表面,光学的及び形態学的特性に強く影響することを示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (4件):
分類
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酸化物薄膜  ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  ,  光物性一般  ,  その他の無機化合物の電気伝導 

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