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J-GLOBAL ID：201202243946798514   整理番号：12A0509420

TiN/(Ti,Al)N多層膜の堆積,微細構造および硬度

Deposition, microstructure and hardness of TiN/(Ti,Al)N multilayer films

著者 (6件)： ZHAO Y.h. ,  HU L. ,  LIN G.q. ,  XIAO J.q. ,  DONG C. ,  YU B.h.
資料名： International Journal of Refractory Metals & Hard Materials  (International Journal of Refractory Metals & Hard Materials)
巻： 32  ページ： 27-32  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： H0059B  ISSN： 0263-4368  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiおよびTiAl合金ターゲットを交互に切り替えてオン-オフパルスバイアスアークイオンめっきによりTiN/(Ti,Al)N多層膜をステンレス鋼基板上に堆積した。X線回折分析(XRD)および透過型電子顕微鏡によりTiN/(Ti,Al)N多層膜の結晶構造と断面構造の評価を行った。硬度および膜と基板の密着性はそれぞれナノインデンテーションおよびスクラッチテストで評価した。TiNと(Ti,Al)Nの間の界面に微細構造の複雑な構造が存在し,堆積室内における試料の回転に起因する極めて薄い副層で構成された別の層状界面領域が存在した。多層膜の硬度は単体構造の(Ti,Al)N膜と比較してと高い値を示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  アルミニウム化合物 ,  オーステナイト系ステンレス鋼 ,  *多層膜 ,  密着性 ,  ナノインデンテーション ,  押込硬さ ,  曲線 ,  弾性係数 ,  *硬度 ,  *セラミック被覆 ,  *イオンめっき ,  *微細構造 ,  引かき硬さ
準シソーラス用語： AISI304 ,  *アークイオンプレーティング ,  荷重-変位曲線 ,  *窒化チタン ,  窒化チタンアルミニウム

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (7件)： TiN ,  Ti ,  Al ,  多層膜 ,  堆積 ,  微細構造 ,  硬度