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J-GLOBAL ID：201202244739479669   整理番号：12A0733596

高精密光学鏡のイオンビームフィギュアリングでの補正性能解析と加工誤差制御

Corrective capability analysis and machining error control in ion beam figuring of high-precision optical mirrors

著者 (5件)： LIAO Wenlin (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  DAI Yifan (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  XIE Xuhui (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  ZHOU Lin (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  YUAN Zheng (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 51  号： 3  ページ： 033402.1-033402.8  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学鏡の加工法としてイオンビームフィギュアリングが利用されている。この技術では,光学表面の誤差をイオンビームで補正できる。本論文では,高精密光学鏡のイオンビームフィギュアリングでの補正性能を解析し,加工誤差の制御法について検討した。空間周波数の異なる表面誤差の補正原理を検討した。また,異なるフィギュアリングステージで除去の選択基準を確立した。加工誤差を解析し,制御することで,高精密光学鏡の加工を実現できることを示した。これを実験的に検証した。イオンビームフィギュアリングシステムを開発し,平面融合シリカと球面サンプルを調べた。補正性能解析と加工誤差制御により高い精度が得られることが分かった。

シソーラス用語： *イオンビーム加工 ,  図形 ,  *反射鏡 ,  空間周波数 ,  選択基準 ,  誤り制御 ,  性能分析
準シソーラス用語： *イオンビームフィギュアリング ,  誤差制御 ,  光学鏡面 ,  性能解析

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 精密 ,  光学 ,  性能解析 ,  誤差制御