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J-GLOBAL ID：201202244805230065   整理番号：12A1112004

微細加工シリコン基板上の超高感度Pd-Ag/ZnO/ニッケル合金-利用金属-絶縁体-金属メタンセンサ

Ultrasensitive Pd-Ag/ZnO/Nickel Alloy-Based Metal-Insulator-Metal Methane Sensor on Micromachined Silicon Substrate

著者 (3件)： ROY Sunipa (Jadavpur Univ., Kolkata, IND) ,  SARKAR Chandan Kumar (Jadavpur Univ., Kolkata, IND) ,  BHATTACHARYYA Partha (Bengal Engineering and Sci. Univ., Shibpur, IND)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 12  号： 7-8  ページ： 2526-2527  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微細加工Si基板上にPd-Ag/ZnO/Ni合金MIM構造を形成したメタンセンサを開発した。低温化学処理によりZnO膜を堆積した上面Ni合金を用い,共平面微小ヒータとMIMセンサの下部電極を作製した。Ni合金はZnO検出層とのOhm接触の形成に役立った。触媒Pd-Ag(70%)貴金属をMIMセンサの上面電極に用いた。メタン/窒素気体を用いてセンサの電流電圧特性を調べた。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  微細加工 ,  高感度 ,  パラジウム ,  銀 ,  酸化亜鉛 ,  ニッケル合金 ,  MIM構造 ,  電流電圧特性 ,  *電気化学センサ ,  触媒 ,  アルカン
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  マイクロヒータ

分類 (2件)： 物理分析一般  (CC03011F) ,  電気化学反応  (CB07050F)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (9件)： 微細加工 ,  シリコン基板 ,  高感度 ,  Pd ,  Ag ,  ZnO ,  ニッケル合金 ,  絶縁体 ,  メタン