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J-GLOBAL ID：201202244961018904   整理番号：12A1778164

PMMA-PDMS接着薄膜の電磁アクチュエーションに基づくPMMAマイクロマシニング加工した液体レンズの設計と製作

Design and fabrication of PMMA-micromachined fluid lens based on electromagnetic actuation on PMMA-PDMS bonded membrane

著者 (5件)： LEE June Kyoo (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  PARK Kyung-Woo (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  CHOI Ju Chan (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  KIM Hak-Rin (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  KONG Seong Ho (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 11  ページ： 115028,1-11  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 動的な焦点合わせが可能な適応液体レンズは,携帯カメラ,微小飛行体,カプセルエンドスコープや光ピックアップヘッドなど微小光学系にとって魅力的である。本稿では,ビルトイン電磁アクチュエータにより制御するPMMAマイクロマシニング加工した液体レンズの設計と製作について報告した。レンズボディは液体チャネル,液体チャンバ,冷却チャネルとアクチュエータソケットで構成している。電磁アクチュエーション用のPDMS膜は開発したSiO₂中間層を使う接着技術によりPMMA構造に接着した。電磁アクチュエータで与えられた反発力により液体チャンバの圧力を制御する。このレンズの焦点合わせ能力は67ジオプター,ヒステリシスは1mm以下,応答時間は2msであった。

シソーラス用語： *焦点合せ ,  ポリメタクリル酸メチル ,  ポリジメチルシロキサン ,  アクチュエータ ,  電磁気 ,  *マイクロマシニング ,  *レンズ ,  液体 ,  電場 ,  斥力
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  PMMA ,  ビルトイン電場 ,  *液体レンズ ,  電磁アクチュエータ ,  反発力

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (7件)： PMMA ,  PDMS ,  薄膜 ,  マイクロマシニング加工 ,  液体レンズ ,  設計 ,  製作