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J-GLOBAL ID：201202245018419998   整理番号：12A0024051

マルチプラズマ浸漬イオン注入蒸着によって形成されたTiAlSiN塗膜の構造と機械的性質における酸化の影響

Influence of oxidation on the structural and mechanical properties of TiAlSiN coatings synthesized by multi-plasma immersion ion implantation and deposition

著者 (6件)： XIE Z.w. (State Key Lab. of Advanced Welding & Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN) ,  WANG L.p. (State Key Lab. of Advanced Welding & Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN) ,  WANG X.f. (State Key Lab. of Advanced Welding & Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN) ,  HUANG L. (State Key Lab. of Advanced Welding & Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN) ,  LU Y. (State Key Lab. of Advanced Welding & Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN) ,  YAN J.c. (State Key Lab. of Advanced Welding & Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 271  ページ： 1-5  発行年： 2012年01月15日 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *イオン注入 ,  *チタン化合物 ,  アルミニウム化合物 ,  ケイ素化合物 ,  *窒化物 ,  塗膜 ,  結晶構造 ,  *機械的性質 ,  *酸化 ,  硬度 ,  摩耗 ,  ナノ複合材料 ,  X線回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  X線光電子分光法 ,  高分解能電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： HRTEM ,  SEM【顕微鏡】 ,  XPS ,  プラズマ浸漬イオン注入蒸着 ,  窒化チタン

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  その他の無機化合物の結晶構造  (BK07030J)

タイトルに関連する用語 (5件)： マルチ ,  プラズマ浸漬イオン注入蒸着 ,  塗膜 ,  機械的性質 ,  酸化