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J-GLOBAL ID：201202245580381065   整理番号：12A0564508

柔軟な電極と非線形構造剛性を用いたMEMSキャパシタの線形化とチューナビリティの改善

Linearization and tunability improvement of MEMS capacitors using flexible electrodes and nonlinear structural stiffness

著者 (4件)： SHAVEZIPUR M (Univ. Waterloo, Waterloo, CAN) ,  NIEVA P (Univ. Waterloo, Waterloo, CAN) ,  HASHEMI S M (Ryerson Univ., Toronto, CAN) ,  KHAJEPOUR A (Univ. Waterloo, Waterloo, CAN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 2  ページ： 025022,1-10  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報では,広範囲に利用される,静電駆動MEMSキャパシタの非線形性と構造的不安定性の解決策を提案した。提案による設計では,可動電極の柔軟性と非線形構造剛性を用いて,容量-電圧(C-V)応答特性を制御する。可動電極板の変位をストッパによって選択的に拘束し,容量の急激なジャンプの防止とプルイン電圧の除去を行なう。対称の二重こぶ(瘤)電極形状を用いると,C-V曲線の感度がかなり一定になり,したがって応答が線形化する。解析および有限要素結合フィールドのモデルを開発して,キャパシタ挙動の研究および最大線形性を得るための設計の最適化を行なった。実験結果から,本報のキャパシタの,C-V応答の線形性改善と最大チューナビリティの増大は,従来のそれに比べて3倍であることを明らかにした。

シソーラス用語： *電極 ,  *剛性 ,  *MEMS ,  *コンデンサ ,  *線形性 ,  容量電圧特性 ,  集積回路 ,  回路部品
準シソーラス用語： チューナビリティ ,  非線形構造剛性

分類 (2件)： LCR部品  (NA05030D) ,  集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 非線形 ,  構造剛性 ,  MEMS ,  キャパシタ ,  線形化 ,  チューナビリティ