文献

J-GLOBAL ID：201202245675237158   整理番号：12A0895492

面内振動中のMEMS(マイクロ電気機械システム)共振器のための各種の支持部損失モデルのレビューと比較

Review and comparison of different support loss models for micro-electro-mechanical systems resonators undergoing in-plane vibration

著者 (4件)： CHOUVION B (Univ. Nottingham, Nottingham, GBR) ,  MCWILLIAM S (Univ. Nottingham, Nottingham, GBR) ,  POPOV A A (Univ. Nottingham, Nottingham, GBR) ,  FOX C H J (Univ. Nottingham, Nottingham, GBR)
資料名： Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part C. Journal of Mechanical Engineering Science  (Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part C. Journal of Mechanical Engineering Science)
巻： 226  号： 1  ページ： 283-295  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： H0720A  ISSN： 0954-4062  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 面内振動中のMEMS共振器の支持部損失の計算手法をレビューした。各手法では支持部を半無限領域で近似している。最初の検討は解析的で,支持部を半無限薄板としてモデル化している。これを,それらの有限領域として人工的な境界を導くタイプの有限要素法による手法2つと比較した。出てゆく波の吸収と無限支持部のモデル化には,完全適合領域法と無限要素の使用を考慮した。簡単な例題を事例に,各種の手法による支持部損失の予測値を比較した。比較結果と各手法で観察された所見などを含む。

シソーラス用語： *共振器 ,  平面振動 ,  Q値 ,  *解析モデル ,  力学モデル ,  支持物 ,  半無限板 ,  境界条件 ,  機械損失 ,  *エネルギー損失
準シソーラス用語： MEMS共振器 ,  面内歪 ,  *支持部

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  構造動力学  (HD02000E)

タイトルに関連する用語 (7件)： MEMS ,  電気機械 ,  共振器 ,  支持部 ,  損失 ,  モデル ,  レビュー