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J-GLOBAL ID：201202245721678482   整理番号：12A0312935

ダイヤモンド状炭素中間層を用いたTi6Al4V基板上ダイヤモンドコーティングの改善: ラマン残留応力評価とAFM分析

Improving diamond coating on Ti6Al4V substrate using a diamond like carbon interlayer: Raman residual stress evaluation and AFM analyses

著者 (7件)： NIBENNANOUNE Z. ,  GEORGE D. ,  ANTONI F. ,  AHZI S. ,  RUCH D. ,  GRACIO J. ,  REMOND Y.
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 22  ページ： 105-112  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 我々は,マイクロラマン分光を用いてTi6Al4V基板上に堆積したダイヤモンド膜中に生じた残留応力を評価した。ダイヤモンド状炭素(DLC)中間層有りと無しの試料間の比較を行った。ダイヤモンドコーティングの堆積前の試料のシーディングの効果も調べた。さらに,AFM分析を行い表面粗さの質を評価した。結果は,DLC中間層の導入がDLC無しの試料と比較して残留応力を低下することを示した。シーディング法は,シーティング無しの試料と比較してより小さい粒の生成を可能にした。DLC中間層を有する試料に対して測定された平均残留応力はDLC無しの試料に対して測定されたそれの約半分であった。しかしながら,より良い表面仕上がりをもたらすシーディング法は応力強度に対して部分的に反対の効果を持っていた。これはおそらくシーディングプロセスから利用可能な核発生サイトに依存する粒成長に起因する。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： Ti-6Al-4V合金 ,  残留応力 ,  層 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  DLC膜 ,  基板 ,  核形成 ,  表面粗さ ,  結晶粒度 ,  結晶粒粗大化 ,  被覆 ,  顕微鏡観察 ,  レーザ蒸着 ,  化学蒸着 ,  *蒸着膜 ,  顕微Raman分光法 ,  *ダイヤモンド ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： PLD【蒸着】 ,  シーディング ,  *ダイヤモンド膜 ,  原子間力顕微鏡観察 ,  中間層 ,  粒成長

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (8件)： ダイヤモンド状炭素 ,  中間層 ,  ダイヤモンド ,  コーティング ,  残留応力 ,  評価 ,  AFM ,  分析