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J-GLOBAL ID：201202245795509879   整理番号：12A0655577

小型原子時計用の微細加工チップスケールのルビジウムプラズマ光源

Microfabricated Chip-Scale Rubidium Plasma Light Source for Miniature Atomic Clocks

著者 (6件)： VENKATRAMAN Vinu (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  PETREMAND Yves (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  AFFOLDERBACH Christoph (Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE) ,  MILETI Gaetano (Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE) ,  DE ROOIJ Nico F. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  SHEA Herbert (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE)
資料名： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 59  号： 3  ページ： 448-456  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘電体バリア放電に基づく,低電力で安定なチップスケールのルビジウム(Rb)プラズマ光源を実証した。本光源は,6mW未満のRF電力を使い,0.3cm³のチップスタックから,780.2nmと795.0nmのRb線において,それぞれ15μWと9μWの光パワーを放射した。標準の微細加工により密封封止に成功し,数週間にわたる連続動作と数百回の点火でも劣化は認められなかった。また,外部電極設計により,主たる寿命制限要因であるプラズマによる電極浸食を排除することができた。

シソーラス用語： *原子時計 ,  微細加工 ,  ICパッケージ ,  *プラズマ源 ,  *ルビジウム ,  無声放電 ,  消費電力
準シソーラス用語： チップスケールパッケージ ,  *プラズマ光源 ,  低電力 ,  誘電体バリア放電

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 原子時計 ,  微細加工 ,  スケール ,  ルビジウム ,  プラズマ光源