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J-GLOBAL ID：201202245923805931   整理番号：12A0645728

イオンビームによる表面パターン形成への流体力学的アプローチ

Hydrodynamic approach to surface pattern formation by ion beams

著者 (2件)： CASTRO Mario (Grupo Interdisciplinar de Sistemas Complejos (GISC) and Grupo de Dinamica No Lineal (DNL), Escuela Tecnica Superior ...) ,  CUERNO Rodolfo (Departamento de Matematicas and GISC, Universidad Carlos III de Madrid, Avenida de la Universidad 30, E-28911 ...)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 9  ページ： 4171-4178  発行年： 2012年02月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオンビームスパッタリングにより固体表面に誘起される,規則化ナノパターンの形成を研究した。イオン衝撃により流れる固体という一般的な考え方を利用して,粘性流,応力,拡散,あるいはスパッタリングといった異なる機構を組み込める一般的な枠組みを,一般的な物理保存則下において構築した。現象論的な界面方程式の定式化に対して,このアプローチは,イオンビームスパッタリングによる表面パターン形成に影響を与える異なる物理機構の関連性及び相互作用を系統的に評価することを可能にした。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *イオンビームスパッタリング ,  *ナノ構造 ,  粘性流 ,  *流体力学 ,  *パターン形成 ,  *表面構造 ,  カスケード過程 ,  安定性解析 ,  流動
準シソーラス用語： イオン衝撃 ,  線形安定性解析 ,  固体流

分類 (3件)： スパッタリング  (BK16110U) ,  流体力学一般  (BC01010Z) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (3件)： イオンビーム ,  パターン形成 ,  流体力学