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J-GLOBAL ID：201202246035183732   整理番号：12A0950368

耐亀裂性を向上させた二相単層のAl-O-Nナノ複合フィルム

Two-phase single layer Al-O-N nanocomposite films with enhanced resistance to cracking

著者 (5件)： MUSIL J. ,  JILEK R. ,  MEISSNER M. ,  TOELG T. ,  CERSTVY R.
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 206  号： 19-20  ページ： 4230-4234  発行年： 2012年05月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この記事では,酸素をパルス化注入するN₂+O₂混合物中の複式マグネトロンによる,二相単層のAl-O-Nナノ複合材フィルムの直流パルス化反応スパッタリングを報告した。(1)nc-AlN/a-(Al-O-N)フィルムと(2)nc-(γ-Al₂O₃)/a-(Al-O-N)ナノ複合フィルムの2種類のナノ複合材フィルムをスパッタした。なお,ここではnc-とa-はそれぞれナノ結晶質と無定形相を表す。nc-AlN/a-(Al-O-N)ナノ複合材からnc-(γ-Al₂O₃)/a-(Al-O-N)ナノ複合材への転移は酸素パルスの期間の長さT_O2で制御した。両方のナノ複合材は比較的高い硬度(H=15~20GPa)と低い有効ヤング率(E^*)を持った非常に弾性のあるフィルムで,(H/E^*)の比率が>0.1,高弾性回復W_eが>60%,曲げの際の高い耐亀裂性,の条件を満たすことが判明した。フィルムの構造とその機械特性との相関関係について詳細に議論した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *アルミニウム化合物 ,  *酸素化合物 ,  *窒化物 ,  *ナノ複合材料 ,  *蒸着膜 ,  *スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *耐亀裂性 ,  反応性スパッタリング ,  窒化アルミニウム ,  ナノ結晶 ,  非晶質 ,  γアルミナ ,  構造相転移 ,  ウエハ【IC】 ,  基板 ,  ガラス ,  モリブデン ,  アニオン ,  微小硬さ ,  Young率 ,  弾性 ,  微細構造 ,  解析 ,  *複合フィルム ,  *セラミック膜
準シソーラス用語： DCマグネトロンスパッタリング ,  ガラス基板 ,  ケイ素基板 ,  スライドガラス ,  構造性質相関 ,  酸素イオン ,  *酸窒化アルミニウム ,  弾性回復

分類 (3件)： ガラス・セラミック被覆一般  (YC02010D) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 耐亀裂性 ,  単層 ,  Al ,  複合フィルム