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J-GLOBAL ID：201202246121535315   整理番号：12A0868932

マイクロ統合分析システム用通常閉状態静電パリレンマイクロバルブ

A normally closed electrostatic parylene microvalve for micro total analysis systems

著者 (5件)： YILDIRIM Ender (Mechanical Engineering Dept., Middle East Technical Univ., Ankara, TUR) ,  YILDIRIM Ender (Mechanical Engineering Dept., Cankaya Univ., Ankara, TUR) ,  ARIKAN M.a. Sahir (Mechanical Engineering Dept., Middle East Technical Univ., Ankara, TUR) ,  KUELAH Haluk (Electrical and Electronics Engineering Dept., Middle East Technical Univ., TUR) ,  KUELAH Haluk (METU-MEMS Res. and Application Center, Ankara, TUR)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 181  ページ： 81-86  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パリレン液体のための静電駆動式の通常閉状態マイクロバルブを報告する。提案するバルブ構造は液体を電界から離したので,作用させる液体に無関係に,比較的低い動作電圧(<60V)を得た。これにより,マイクロ統合分析システムにおける静電駆動で生じる電気分解や電極遮蔽などの問題を解決した。漏れ特性を調べるため,脱イオン水の加圧流でマイクロバルブを試験した。注入圧力20kPaまで,漏れ率を検出できなかった。これは設計した特異な半円型のバルブ座の効果である。このバルブ座は様々な応用に応じて,異なった圧力で閉じることができるように変更可能であることを示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 駆動 ,  *弁機構 ,  ポリキシリレン ,  電解 ,  電磁遮蔽 ,  検査 ,  脱イオン水 ,  弁座 ,  *分析機器
準シソーラス用語： バルブ座 ,  *マイクロバルブ ,  技術的課題 ,  静電駆動 ,  電気分解 ,  漏れ試験 ,  *マイクロ総合分析システム ,  Parylene

分類 (3件)： 配管材料,弁  (QD05020E) ,  分析機器  (CC02020S) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (3件)： 統合 ,  分析 ,  閉状態