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J-GLOBAL ID：201202246189954979   整理番号：12A0424846

静磁気ラッチによる双安定形状記憶合金マイクロバルブ

A Bistable Shape Memory Alloy Microvalve With Magnetostatic Latches

著者 (3件)： BARTH Johannes (Karlsruhe Inst. Technol. (KIT), Karlsruhe, DEU) ,  MEGNIN Christof (Karlsruhe Inst. Technol. (KIT), Karlsruhe, DEU) ,  KOHL Manfred (Karlsruhe Inst. Technol. (KIT), Karlsruhe, DEU)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 21  号： 1  ページ： 76-84  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 双安定アクチュエーションはある状態を保つのにパワーの連続供給を必要とせず,特に小さいデューティサイクルで動作するマイクロシステムで重要である。本稿は,その種の形状記憶マイクロバルブのレイアウト,製作,特性調査を示す。主な機能部品はスイッチングのための二つの反対に動作する形状記憶合金マイクロブリッジと,パワーオフの状態で二つの安定したスイッチング状態を保つ磁石層である。すべての部品を自己整合のバルブスタックに組み付けるという新しい製作プロセスで,高いアライメント精度を克服した。これによって,最終ボンディングの前に層厚の微調整と同時に電気的,機械的,流体的試験が可能になっている。全体寸法は11mm×6mm×3mmである。双安定動作は2200sccmの高流量N₂ガスでスイッチ可能な差圧は300kPaである。

シソーラス用語： *双安定性 ,  *形状記憶合金 ,  弁 ,  静磁場 ,  スイッチング ,  流体素子 ,  マイクロマシン
準シソーラス用語： バルブ ,  *マイクロバルブ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (4件)： 磁気 ,  双安定 ,  形状記憶合金 ,  マイクロバルブ