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J-GLOBAL ID：201202246204214499   整理番号：12A0653149

トップZnO薄膜の利用で増強された感度をもつ表面プラズモン光センサ

Surface plasmon optical sensor with enhanced sensitivity using top ZnO thin film

著者 (5件)： BAO Ming (East China Normal Univ., State Key Lab. of Precision Spectroscopy, and Dep. of Physics, 200062, Shanghai, P.R. China) ,  LI Ge (East China Normal Univ., State Key Lab. of Precision Spectroscopy, and Dep. of Physics, 200062, Shanghai, P.R. China) ,  JIANG Dongmei (East China Normal Univ., State Key Lab. of Precision Spectroscopy, and Dep. of Physics, 200062, Shanghai, P.R. China) ,  CHENG Wenjuan (East China Normal Univ., State Key Lab. of Precision Spectroscopy, and Dep. of Physics, 200062, Shanghai, P.R. China) ,  MA Xueming (East China Normal Univ., State Key Lab. of Precision Spectroscopy, and Dep. of Physics, 200062, Shanghai, P.R. China)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 107  号： 2  ページ： 279-283  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Kretschmann配置の表面プラズモン共鳴(SPP)センサのトップに誘電関数の実部ε′が大きい200nm厚みの誘電体膜を用いることにより,その感度を向上させた。異なる屈折率を持つ誘電体膜をRFマグネトロンスパッタリングによって作製し,分光偏光解析法で評価した。損失を低減し,鋭いディップを得るには,トップナノ層の誘電率の虚数部ε′′を可能な限り小さくする必要があった。ナノ層がAg膜を環境相互作用から保護するので,センサの安定性も改善された。Ag/ZnOチップの応答曲線をSPRセンサを使って求めた。屈折率の異なる種々のZnO膜を用いたSPRセンサの感度を理論的に解析した。シミュレーションと実験はいずれも,Ag/ZnO膜の利用によってAg膜だけに比して増強されたSPR感度と狭いFWHMが得られることを裏付けた。トップZnO層は表面プラズモン共鳴,それゆえその感度の増強に有効である。Copyright 2012 Springer-Verlag Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *表面プラズモン ,  プラズマ共鳴 ,  *バイオセンサ ,  *光センサ ,  *銀 ,  誘電体薄膜 ,  *酸化亜鉛 ,  保護膜 ,  屈折率 ,  マグネトロンスパッタリング ,  RFスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  偏光解析法 ,  光学定数 ,  計算機シミュレーション ,  感度 ,  FWHM ,  誘電関数
準シソーラス用語： *表面プラズモン共鳴センサ ,  分光偏光解析法 ,  応答曲線

分類 (4件)： その他の光デバイス  (BD06060O) ,  固体プラズマ  (BM02160W) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (6件)： トップ ,  ZnO薄膜 ,  増強 ,  感度 ,  表面プラズモン ,  光センサ