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J-GLOBAL ID:201202246316191831   整理番号:12A0764841

C3H8,及びCBr4が3C-SiC層の構造,及び形態特性にもたらす影響

The influence of C3H8 and CBr4 on structural and morphological properties of 3C-SiC layers
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資料名:
巻: 711  ページ: 22-26  発行年: 2012年 
JST資料番号: D0716B  ISSN: 0255-5476  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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