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J-GLOBAL ID：201202246327831271   整理番号：12A0871163

マイクロホットプレートを用いた化学抵抗性膜の組合せ特性化

Combinatorial Characterization of Chemiresistive Films Using Microhotplates

著者 (5件)： HERTZ Joshua L. (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  HERTZ Joshua L. (Univ. Delaware, DE, USA) ,  LAHR David L. (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  LAHR David L. (Broad Inst., MA, USA) ,  SEMANCIK Steve (National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 12  号： 5-6  ページ： 1459-1460  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS利用マイクロプレート(MP)を用いて化学抵抗性SnO₂薄膜アレイを作製し,特性化した。MPを用いたCVDによる薄膜成長中の各アレイ要素の熱変数を制御し,センサを動作させた。CH₃OHとNO₂に曝した時の200°Cにおける薄膜の化学抵抗特性を測定し,8つの薄膜を用いて4種類のプロセス変数(成長温度,厚み,添加物の存在,成長中のパルス加熱の使用)を決定できた。

シソーラス用語： *化学センサ ,  電気抵抗 ,  電気化学 ,  *酸化スズ ,  MEMS ,  加熱器 ,  二酸化窒素 ,  化学蒸着 ,  組合せ ,  *キャラクタリゼーション ,  プロセス変数 ,  薄膜成長 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： マイクロプレート ,  薄膜センサ

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： メタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： ホットプレート ,  化学 ,  抵抗性 ,  組合せ ,  特性化