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J-GLOBAL ID：201202246340398447   整理番号：12A0677580

可動鉄片アクチュエータを持つ広帯域・高精度の2軸ステアリングミラー

A high-bandwidth, high-precision, two-axis steering mirror with moving iron actuator

著者 (3件)： KLUK Daniel J. (Mechanical Engineering Dep., Massachusetts Inst. of Technol., Cambridge, MA, USA) ,  BOULET Michael T. (MIT Lincoln Lab., Lexington, MA, USA) ,  TRUMPER David L. (Mechanical Engineering Dep., Massachusetts Inst. of Technol., Cambridge, MA, USA)
資料名： Mechatronics  (Mechatronics)
巻： 22  号： 3  ページ： 257-270  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： W0098A  ISSN： 0957-4158  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,先進型高速ステアリングミラー(AFSM)と小型先進型高速ステアリングミラー(sAFSM)と呼ぶ精密な光学プラットフォームのための高帯域2軸ミラーポジショナの設計と製作と組立と試験を示した。これらの新しいポジショナは磁束ステアリング電磁アクチュエータにより2つの回転軸で駆動されるミラープラットフォームで構成する。この装置はリソグラフィ,レーザ通信,ライダーなどの光学応用においてビームの安定化のために設計し,位置フィーフォバックループにより制御される。光学クワッドセルフィードバックと2チャンネルアナログ制御アーキテクチャを使って,実験的に,帯域幅10kHzの小さな信号システムを実演した。AFSMは±3.5mradの移動範囲を持ち,測定された角加速度は1×105 rad/s2であった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： アクチュエータ ,  光学器械 ,  光走査 ,  *位置決め装置 ,  入射角 ,  *反射鏡 ,  *姿勢制御 ,  *位置制御 ,  二軸
準シソーラス用語： 光学機器 ,  光学台 ,  電磁アクチュエータ

分類 (3件)： サーボ機構  (IC03030Q) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  その他の光学機器  (QF05060C)

タイトルに関連する用語 (5件)： アクチュエータ ,  広帯域 ,  2軸 ,  ステアリング ,  ミラー