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J-GLOBAL ID：201202246358443091   整理番号：12A0202504

マグネトロンスパッタリングによって蒸着された窒素ドープ型ZnOフィルムの特性に及ぼす酸素分圧の影響

Influence of oxygen partial pressure on properties of N-doped ZnO films deposited by magnetron sputtering

著者 (7件)： Wang Jinzhong (School of Materials Sci. and Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin) ,  E.ElANGOVAN (Material Sci. Dep.,CENIMAT/I3N and CEMOP/UNINOVA,FCT-UNL, Campus de Caparica, Portugal, Caparica) ,  N.FRANCO (Ion Beam Lab., Physics Dep., Inst. of Technol. and Nuclear EN.10, Portugal, Sacavem) ,  A.ALVESE (Ion Beam Lab., Physics Dep., Inst. of Technol. and Nuclear EN.10, Portugal, Sacavem) ,  A.REGO (Center of Molecular Chemistry-Physics, Inst. of Nanoscience and Nanotechnology, Complexo Interdisciplinar,IST ...) ,  R.MARTINS (Material Sci. Dep.,CENIMAT/I3N and CEMOP/UNINOVA,FCT-UNL, Campus de Caparica, Portugal, Caparica) ,  E.FORTUNATO (Material Sci. Dep.,CENIMAT/I3N and CEMOP/UNINOVA,FCT-UNL, Campus de Caparica, Portugal, Caparica)
資料名： Transactions of Nonferrous Metals Society of China  (Transactions of Nonferrous Metals Society of China)
巻： 20  号： 12  ページ： 2326-2330  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0396A  ISSN： 1003-6326  CODEN： TNMCEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒素ドープ型ZnOフィルムをガラス基板上に無線周波数(RF)スパッタリングして,3.0×10(-4)から9.5×10(-3)Paまで変動する酸素分圧(OPP)の関数として研究した。X線回折パターンは蒸着されたフィルムの多結晶性質を確認した。この結晶構造はOPPの変化によって影響を受けた。原子間力顕微鏡法解析は,OPPが1.4×10(-3)Pa以上に増加するとき,2乗平均平方根(RMS)表面粗さの鋭い増加による近隣の球状の結晶の凝集を確認した。X線光電子分光法解析は,このフィルムへのN含有量の取り込みがOPPの増加とともに低下して,顕著に,N1sのXPSピークが9.5×10(-3)Paでほとんど同定されないことが明らかになった。平均可視透過率(380~700nm)は,OPP(17%から70%まで)の増加とともに増大して,光学的吸収端は短波長の方へシフトした。低いOPP(≦3.0×10(-4)Pa)によって蒸着されたフィルムはn型導電性を示して,高いOPP(≧9.0×10(-4)Pa)によって蒸着されたものは高度な抵抗(>105Ωcm)を有した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  ドーピング ,  *透明導電膜 ,  *分圧 ,  結晶構造 ,  多結晶
準シソーラス用語： 窒素ドープ ,  *ZnOフィルム ,  *酸素分圧

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  窒素ドープ ,  ZnOフィルム ,  酸素分圧