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J-GLOBAL ID：201202246618098717   整理番号：12A1262149

粗な表面の平滑化への異なるエッチングモードによる影響

The effect of different etching modes on the smoothing of the rough surfaces

著者 (2件)： RADJENOVIC B. (Inst. of Physics, Univ. of Belgrade, Pregrevica 118, 11080 Belgrade, Serbia) ,  RADMILOVIC-RADJENOVIC M. (Inst. of Physics, Univ. of Belgrade, Pregrevica 118, 11080 Belgrade, Serbia)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 86  ページ： 165-167  発行年： 2012年11月01日 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報告は,粗な表面の平滑化力学への三つの異なるエッチングモード(等方的,非等方的及びスパッタリング)による影響について調べた。計算はレベルセット法に基づく3次元シミュレーションパッケージを用いて行った。得られたシミュレーション結果から,表面粗さはスパッタリングと等方的エッチングのいずれでも減少したが,スパッタリングプロセスは非常に効率的であった。一方,非等方的エッチングが効果的な平滑化メカニズムではないことを示した。界面幅の時間依存性を分析し,成長指数βを全てのエッチングモードに対して求めた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *エッチング ,  *平滑化 ,  *粗面 ,  等方性 ,  異方性 ,  スパッタリング ,  シミュレーション ,  表面粗さ ,  数値解法
準シソーラス用語： *レベルセット法 ,  異方性エッチング ,  *三次元シミュレーション ,  粗表面

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 平滑化 ,  エッチング