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J-GLOBAL ID：201202246958953840   整理番号：11A1959164

化学機械研摩での対流と磁場を考慮したモデルと数値シミュレーション

THE MODELS BY CONSIDERING MAGNETIC FIELD AND CONVECTION OF CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND THEIR NUMERICAL SIMULATIONS

著者 (3件)： Zheng Qiuyun (School of Mathematics and Computational Sci., Xiangtan Univ., Hunan Key Lab. for Computation and Simulation in Sci. ...) ,  Li Mingjun (School of Mathematics and Computational Sci., Xiangtan Univ., Hunan Key Lab. for Computation and Simulation in Sci. ...) ,  Shu Shi (School of Mathematics and Computational Sci., Xiangtan Univ., Hunan Key Lab. for Computation and Simulation in Sci. ...)
資料名： Lixue Xuebao  (Lixue Xuebao)
巻： 42  号： 6  ページ： 1060-1067  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2420A  ISSN： 0459-1879  CODEN： LHHPAE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 化学機械研摩(CMP)は,最先端超精密加工技術で最も有望な技術である。本論文では,最初に,対流効果のCMPモデルを導出した。パラメータを変えて,圧力分布を研究した。次に,磁気流体スラリと外部磁場を考慮したCMPのモデルを検討した。外部磁場での圧力分布を研究した。数値結果を示した。対流モデルでの圧力分布は,既知の経験的結果と一致した。常圧以下CMPを効率的に説明した。外部磁場で圧力分布を効率的に変えることができた。ウエハの大域的平坦化の新しい方法を示した。

シソーラス用語： *化学研磨 ,  *電磁流体力学 ,  対流 ,  磁場効果 ,  数学モデル ,  シミュレーション ,  超精密加工 ,  圧力分布 ,  外部磁場 ,  磁性流体 ,  スラリー ,  *化学機械研磨
準シソーラス用語： 磁気流体 ,  数値シミュレーション

分類 (2件)： 電磁流体力学  (BC05000Q) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 化学機械研摩 ,  対流 ,  磁場 ,  モデル ,  数値シミュレーション