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J-GLOBAL ID:201202247412318733   整理番号:12A0676529

燃料電池用のLa0.85Sr0.15MnO3薄膜の成長とキャラクタリゼーション

Growth and characterization of La0.85Sr0.15MnO3 thin films for fuel cell applications
著者 (8件):
資料名:
巻: 258  号: 17  ページ: 6199-6203  発行年: 2012年06月15日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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La0.85Sr0.15MnO3(LSM)薄膜を(100)シリコン基板とYSZ(イットリア安定化ジルコニア)電解質基板上に単一層LSMターゲットを使ったマグネトロンスパッタリングで堆積した。基板温度(室温から600°Cまで)やアルゴンの背圧(1.2×10-2から3.0×10-2mbarまで)および堆積時間を含むスパッタリングの条件を系統的に調べた。結果は,高密度で,均一で,亀裂のないLSM膜を作製する最適条件は基板温度600°C,アルゴン圧力1.9×10-2mbarを含むことを示した。さらに,高密度LSM膜とYSZ電解質膜および多孔質LSM対向電極をもつ試験用電池を調製し,YSZ基板上の高密度LSM膜の電気化学的特性を調べた。LSM膜の厚さやモフォロジおよび微細構造が電気化学特性に重大な影響を与えることが分かった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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燃料電池  ,  酸化物薄膜 
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