金属ターゲットのレーザアブレーションによるCO<sub>2</sub>レーザパルス短縮

DONNELLY T.; MAZOYER M.; LYNCH A.; O’SULLIVAN G.; O’REILLY F.; DUNNE P.; CUMMINS T.

文献

J-GLOBAL ID：201202247480516977 整理番号：12A0583398

金属ターゲットのレーザアブレーションによるCO₂レーザパルス短縮

CO₂ laser pulse shortening by laser ablation of a metal target

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資料名：
巻： 83 号： 3 ページ： 035102-035102-5 発行年： 2012年03月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

レーザパルスのパルス短縮を行う繰返し使えるフレキシブルな方法を,横方向励起大気圧(TEA)CO₂レーザパルスに適用した。この方法では,レーザ出力を高反射性の金属ターゲット上へ集束して,プラズマが形成され,次にこれが強いレーザ吸収・散乱が原因となってシャッタとして作動するようにする。集束したレーザ強度を正確に制御すると,このシャッタのタイミングが可能となり,パルスの異なる時間部分が,プラズマ形成が起こる前にターゲット表面から反射できるようになる。この種のシャッタはパルス幅を~2nsまで狭くし,TEA CO₂パルスに存在する低パワーの長い幅のテイルを除去することが可能となる。パルス幅が減少すれば,透過するエネルギーは減少するが,反射するパワーはすべてのパルス幅に対して~10MWとなる。簡単なレーザ加熱モデルにより,このパルス短縮はプラズマ形成時間に直接依存し,この時間はかけたレーザ強度に依存することを確かめた。極端紫外線(EUV)源を開発するため,レーザエネルギーから利用可能なEUVへの変換効率を最適化するレーザパルス条件の研究において,この種のシャッタはパルス整形を行うツールとして使えるであろうと予想される。(翻訳著者抄録)

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気体レーザ

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金属ターゲットのレーザアブレーションによるCO2レーザパルス短縮

金属ターゲットのレーザアブレーションによるCO₂レーザパルス短縮