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J-GLOBAL ID：201202247536933185   整理番号：12A0871085

室温高分子被覆圧抵抗シリコンブリッジガソリン蒸気センサ

A Room Temperature Polymer-Coated Piezoresistive Silicon Bridge Gasoline Vapor Sensor

著者 (3件)： GUO Huihui (Southwest Jiaotong Univ., Chengdu, CHN) ,  CHEN Xiangdong (Southwest Jiaotong Univ., Chengdu, CHN) ,  YAO Yao (Southwest Jiaotong Univ., Chengdu, CHN)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 12  号： 5-6  ページ： 926-929  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧抵抗Wheastoneブリッジとシリコン(Si)ブリッジ上に感受性層としてシリコンゴム膜を接着したガソリン蒸気センサを開発した。正方形Siブリッジの4隅に圧抵抗器を設置し,Siブリッジの中央部に円形シリコンゴムを接着した。ガソリン蒸気がゴム膜を膨張させてブリッジを変形させ,圧抵抗器による電圧変化から蒸気量を測定する。センサ応答の直線性は比較的良好であり,センサ応答の立上り/立下り時間は約300秒であった。

シソーラス用語： *ガソリン ,  *蒸気 ,  *化学センサ ,  シリコーンゴム ,  ブリッジ回路 ,  圧抵抗効果 ,  電圧変動 ,  応答特性 ,  再現性 ,  MEMS

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 室温 ,  高分子被覆 ,  圧 ,  蒸気